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题名/责任者:

微系统设计与制造/王喆垚编著

出版发行项:

北京:清华大学出版社,2008

ISBN及定价:

978-7-302-15196-8/CNY59.00

载体形态项:

15,648页;26cm

并列正题名:

Microsystem design and fabrication

个人责任者:

王喆垚 编著

学科主题:

微电子技术-设计-高等学校-教材

学科主题:

微电子技术-制造-高等学校-教材

中图法分类号:

TN40

一般附注:

普通高等教育“十一五”国家级规划教材 清华大学信息科学技术学院教材——微电子光电子系列

提要文摘附注:

本书介绍了微系统的基础理论、分析设计方法和制造技术，以及前沿应用领域的多种典型器件。

电子资源:

http://www.bookuu.com/kgsm/ts/2008/03/10/1265435.shtml

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