MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：26
- 题名/责任者:
- 微电子制造科学原理与工程技术（英文版）/（美）坎贝尔（Campbell,S.A)著
- 版本说明:
- 英文版
- 出版发行项:
- 北京:电子工业出版社,2003
- ISBN及定价:
- 7-5053-8626-3/56.00
- 载体形态项:
- 603页:图;24cm
- 个人责任者:
- （美）坎贝尔（Campbell,S.A) 著
- 学科主题:
- 微电子技术-高等学校-教材-英文
- 中图法分类号:
- TN405
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