MARC状态:审校 文献类型:中文图书 浏览次数:9
- 题名/责任者:
- 微电子制造科学原理与工程技术/(美)坎贝尔(Campbell,S.A.)著 曾莹[等]译
- 版本说明:
- 2版
- 出版发行项:
- 北京:电子工业出版社,2003
- ISBN及定价:
- 7-5053-8313-2/CNY59.00
- 载体形态项:
- 613页;26cm
- 个人责任者:
- (美) 坎贝尔 (Campbell,S.A.) 著
- 个人次要责任者:
- 曾莹 译
- 个人次要责任者:
- 严利人 译
- 个人次要责任者:
- 王纪民 译
- 个人次要责任者:
- 张伟 译
- 学科主题:
- 微电子技术-教材
- 学科主题:
- 微电子技术
- 中图法分类号:
- TN4
- 一般附注:
- 国外电子与通信教材系列
- 一般附注:
- 本书在第一版的基础上进行了修改和扩充
- 题名责任附注:
- 译者还有:严利人、王纪民、张伟
- 提要文摘附注:
- 本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术,覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺,包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸化、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。
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